Trong suốt nhiều thập kỷ, Canon đã không ngừng phát triển và cải tiến hệ thống chống rung (IS) tích hợp trong ống kính. Chức năng chống rung đã được tích hợp vào nhiều ống kính EF và RF, mở ra những khả năng mới trong biểu đạt hình ảnh cho cả nhiếp ảnh gia lẫn nhà quay phim. EOS R5 là chiếc máy ảnh EOS đầu tiên được trang bị hệ thống chống rung tích hợp trong thân máy. Khi kết hợp cơ chế chống rung tích hợp trong ống kính và chống rung tích hợp trong thân máy, hệ thống điều khiển phối hợp có thể đạt hiệu quả khắc phục nhòe ảnh do rung lắc máy tương đương với việc tăng tốc độ màn trập lên tới 8.0 stop. Tại thời điểm ra mắt, đây là hệ thống chống rung hiệu quả nhất* trong số các máy ảnh thương mại. Cách hoạt động của cơ chế chống rung: cảm biến con quay hồi chuyển/máy đo gia tốc được lắp đặt trong cả thân máy và ống kính. Hai cảm biến này, cùng với hình ảnh xem trực tiếp của máy ảnh, giúp phát hiện chuyển động hoặc nhòe trên toàn bộ máy ảnh và ống kính với độ chính xác cao. Sau đó, dữ liệu rung lắc máy sẽ được xử lý ở tốc độ cao trong bộ xử lý hình ảnh và CPU trong ống kính, giảm thiểu sai số phát hiện giữa máy ảnh và ống kính. Hệ thống sẽ tính toán tỷ lệ hiệu chỉnh phù hợp, và thân máy lẫn ống kính sẽ thực hiện hiệu chỉnh riêng biệt nhưng được tối ưu hóa để loại bỏ hiện tượng nhòe do rung lắc máy. Hiệu quả chống rung này không chỉ đạt được ở ảnh tĩnh mà còn cả khi quay video. Điều này một lần nữa khẳng định năng lực công nghệ vượt trội mà Canon đã mang đến cho thế giới nhiếp ảnh.
*Tức là máy ảnh kỹ thuật số dùng ống kính rời, có mặt trên thị trường tính đến ngày 8 tháng 7 năm 2020 (cả EOS R5 và EOS R6 đều được phối hợp bộ chống rung kết hợp trong thân máy khi chụp ảnh tĩnh, đạt hiệu quả tương đương với việc tăng tốc độ màn trập lên 8.0 stop). Theo kết quả nghiên cứu của Canon.